三座標(biāo)測(cè)量頭作為測(cè)量傳感器,是坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)中非常重要的部件.三座標(biāo)測(cè)量機(jī)的工作效率、精度與測(cè)量頭密切相關(guān),沒有先進(jìn)的測(cè)量頭,就無法發(fā)揮三座標(biāo)測(cè)量機(jī)的**功能.坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的發(fā)展促進(jìn)了新型測(cè)頭的研制,新型測(cè)頭的開發(fā)又進(jìn)一步擴(kuò)大了測(cè)量機(jī)的應(yīng)用范圍.按測(cè)量方法,可將測(cè)頭分為接觸式(觸發(fā)式)和非接觸式兩大類.觸發(fā)式測(cè)量頭又分為機(jī)械接觸式測(cè)頭和電氣接觸式測(cè)頭;非接觸式測(cè)頭則包括光學(xué)顯微鏡、三座標(biāo)掃描頭及激光掃描頭等.本文討論的重點(diǎn)為觸發(fā)式測(cè)頭.

　　機(jī)械接觸式測(cè)頭

　　接觸式測(cè)頭又稱為"剛性測(cè)頭"、"硬測(cè)頭",一般用于"靜態(tài)"測(cè)量,大多作為接觸元件使用.這種影像測(cè)量?jī)x測(cè)頭沒有傳感系統(tǒng),無量程、不發(fā)訊,只是一個(gè)純機(jī)械式接觸頭.機(jī)械接觸式測(cè)頭主要用于手動(dòng)測(cè)量.由于人工直接操作,故三座標(biāo)測(cè)頭的測(cè)量力不易控制,只適于作一般精度的測(cè)量.由于其明顯的缺點(diǎn),目前這種測(cè)頭已很少使用.

　　電氣接觸式測(cè)頭

　　電氣接觸式測(cè)頭又稱為"軟測(cè)頭",適于動(dòng)態(tài)測(cè)高儀測(cè)量.這種測(cè)頭作為測(cè)量傳感器,是**與工件接觸的部件,每測(cè)量一個(gè)點(diǎn)時(shí),測(cè)頭傳感部分總有一個(gè)"接觸—偏轉(zhuǎn)—發(fā)訊—回復(fù)"的過程,高度測(cè)量?jī)x測(cè)頭的測(cè)端與被測(cè)件接觸后可作偏移,傳感器輸出模擬位移量的信號(hào).這種測(cè)頭不但可用于瞄準(zhǔn)(即過零發(fā)訊),還可用于測(cè)微(即測(cè)出給定坐標(biāo)值的偏差值).因此按其功能,電氣接觸式測(cè)頭又可分為作瞄準(zhǔn)用的開關(guān)測(cè)頭和具有測(cè)微功能的三向測(cè)頭.電氣接觸式測(cè)頭是目前使用*多的測(cè)頭。